2026-03-11T02:02:52Z https://ir.soken.ac.jp/oai

oai:ir.soken.ac.jp:00005944 2023-06-20T14:21:02Z 2:428:15

無酸素パラジウム/チタンを用いた新しい非蒸発型ゲッターコーティングの開発，放射光XPSによる分析，排気性能評価 Development of New Nonevaporable Getter Coating Using Oxygen-Free Palladium/Titanium, Analysis by Synchrotron Radiation XPS, and Evaluation of Pumping Performance 宮澤, 徹也 ミヤザワ, テツヤ MIYAZAWA, TETSUYA 総合研究大学院大学 博士（工学） application/pdf 総研大甲第2067号 doctoral thesis 2019-03-22 VoR application/pdf application/pdf 甲第2067号 https://ir.soken.ac.jp/record/5944/files/甲2067.pdf https://ir.soken.ac.jp/record/5944/files/A2067本文.pdf https://ir.soken.ac.jp/records/5944 jpn open access