@misc{oai:ir.soken.ac.jp:00001274,
 author = {寺門, 伸悟 and テラカド, シンゴ and TERAKADO, Shingo},
 month = {2016-02-17},
 note = {総研大乙第11号},
 title = {半導体デバイス材料のシンクロトロン放射光による光励起エッチング},
 year = {}
}