@misc{oai:ir.soken.ac.jp:00000173, author = {大橋, 治彦 and オオハシ, ハルヒコ and OHASHI, Haruhiko}, month = {2016-02-17}, note = {総研大乙第22号}, title = {炭素及びケイ素とその化合物の放射光励起エッチング反応の研究}, year = {} }