@misc{oai:ir.soken.ac.jp:00000270, author = {吉川, 博志 and ヨシカワ, ヒロシ and YOSHIKAWA, Hiroshi}, month = {2016-02-17}, note = {総研大甲第101号}, title = {塩素分子のSi(111)上での表面反応動力学}, year = {} }