@misc{oai:ir.soken.ac.jp:00000458,
 author = {井上, 徳之 and イノウエ, ノリユキ and INOUE, Noriyuki},
 month = {2016-02-17},
 note = {総研大乙第37号},
 title = {イオンスパッタ加工の加工特性に関する研究},
 year = {}
}