@misc{oai:ir.soken.ac.jp:00000567, author = {後藤, 信朗 and ゴトウ, ノブアキ and GOTO, Nobuaki}, month = {2016-02-17}, note = {総研大甲第57号}, title = {熱陰極マグネトロン真空計-極高真空領域の感度と測定下限の測定と解析-}, year = {} }