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アイテム
半導体デバイス材料のシンクロトロン放射光による光励起エッチング
https://ir.soken.ac.jp/records/1274
https://ir.soken.ac.jp/records/1274671ff980-9d8b-4343-b91f-56fb0f4e46d1
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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要旨・審査要旨 / Abstract, Screening Result (356.4 kB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
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| 公開日 | 2010-02-22 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | 半導体デバイス材料のシンクロトロン放射光による光励起エッチング | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | Photo-Excited Etching of Semiconductor Device Materials Using Synchrotron Radiation | |||||||
| 言語 | en | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | eng | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||||
| 資源タイプ | thesis | |||||||
| 著者名 |
寺門, 伸悟
× 寺門, 伸悟
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| フリガナ |
テラカド, シンゴ
× テラカド, シンゴ
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| 著者 |
TERAKADO, Shingo
× TERAKADO, Shingo
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| 学位授与機関 | ||||||||
| 学位授与機関名 | 総合研究大学院大学 | |||||||
| 学位名 | ||||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||||
| 学位記番号 | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 総研大乙第11号 | |||||||
| 研究科 | ||||||||
| 値 | 数物科学研究科 | |||||||
| 専攻 | ||||||||
| 値 | X1 放射光科学専攻 | |||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||
| 学位授与年月日 | 1995-09-27 | |||||||
| 学位授与年度 | ||||||||
| 値 | 1995 | |||||||
| 所蔵 | ||||||||
| 値 | 有 | |||||||
