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  1. 020 学位論文
  2. 数物科学研究科
  3. X1 放射光科学専攻

半導体デバイス材料のシンクロトロン放射光による光励起エッチング

https://ir.soken.ac.jp/records/1274
https://ir.soken.ac.jp/records/1274
671ff980-9d8b-4343-b91f-56fb0f4e46d1
名前 / ファイル ライセンス アクション
乙11_要旨.pdf 要旨・審査要旨 / Abstract, Screening Result (356.4 kB)
Item type 学位論文 / Thesis or Dissertation(1)
公開日 2010-02-22
タイトル
タイトル 半導体デバイス材料のシンクロトロン放射光による光励起エッチング
タイトル
タイトル Photo-Excited Etching of Semiconductor Device Materials Using Synchrotron Radiation
言語 en
言語
言語 eng
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec
資源タイプ thesis
著者名 寺門, 伸悟

× 寺門, 伸悟

寺門, 伸悟

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フリガナ テラカド, シンゴ

× テラカド, シンゴ

テラカド, シンゴ

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著者 TERAKADO, Shingo

× TERAKADO, Shingo

en TERAKADO, Shingo

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学位授与機関
学位授与機関名 総合研究大学院大学
学位名
学位名 博士(工学)
学位記番号
内容記述タイプ Other
内容記述 総研大乙第11号
研究科
値 数物科学研究科
専攻
値 X1 放射光科学専攻
学位授与年月日
学位授与年月日 1995-09-27
学位授与年度
値 1995
所蔵
値 有
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Ver.1 2023-06-20 14:39:29.318298
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