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アイテム
イオンスパッタ加工の加工特性に関する研究
https://ir.soken.ac.jp/records/458
https://ir.soken.ac.jp/records/4584f9bf1e0-c4f7-411e-975e-efb176c928bd
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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要旨・審査要旨 / Abstract, Screening Result (335.3 kB)
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Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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公開日 | 2010-02-22 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | イオンスパッタ加工の加工特性に関する研究 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
資源タイプ | thesis | |||||
著者名 |
井上, 徳之
× 井上, 徳之 |
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フリガナ |
イノウエ, ノリユキ
× イノウエ, ノリユキ |
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著者 |
INOUE, Noriyuki
× INOUE, Noriyuki |
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学位授与機関 | ||||||
学位授与機関名 | 総合研究大学院大学 | |||||
学位名 | ||||||
学位名 | 博士(工学) | |||||
学位記番号 | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | 総研大乙第37号 | |||||
研究科 | ||||||
値 | 数物科学研究科 | |||||
専攻 | ||||||
値 | 10 核融合科学専攻 | |||||
学位授与年月日 | ||||||
学位授与年月日 | 1997-03-24 | |||||
学位授与年度 | ||||||
値 | 1996 | |||||
所蔵 | ||||||
値 | 有 |